초순수 삼염화규소(초순수 삼염화실란)
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초순수 삼염화규소(초순수 삼염화실란)
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삼염화규소는 순도가 99.99% 이상인 제품입니다. 초순수 형태의 삼염화규소는 폴리실리콘 생산뿐만 아니라 반도체 산업에서 실리콘 또는 탄화규소의 에피택시층 화학 기상 증착에 사용됩니다. 또는 전자 제품에서.

>6N 품질로 정제한 후 삼염화규소광전지 어레이 또는 반도체 응용 분야용 폴리실리콘의 전구체 입니다. 삼염화규소는 실리콘 층 생산에서 우수한 기체 전구체입니다. 증착 동안 지배적인 경로는 (a) 실리콘 표면에 *SiCl2의 화학 흡착과 실리콘 표면에서 염화수소의 탈착: SiHCl3 → HCl + *SiCl2 및 (b) 수소에 의한 *SiCl2의 환원: *SiCl2 + H2 → Si + 2HCl. 초순수 삼염화규소는 탄화규소 에피택셜 층의 생산에도 사용됩니다.

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속성 및 응용

제품 이점:

  • 광전지 어레이 및 반도체 산업을 위한 매우 높은 순도의 제품,
  • 유리 염소 함량이 낮습니다.

신청 :

  • 폴리실리콘 생산을 위한 초순수 삼염화규소 생산을 위한 공급원료,
  • 실리콘, 실리콘 카바이드, 실리콘 질화물의 에피택시에서 전구체.
  • 전자 산업 - 반도체,
  • 에너지 산업 - 광전지.
카테고리
대체 이름
트리클로로실란, 트리클로로실란, 실리코클로로포름, 실리콘 클로라이드 하이드라이드(SiHCl3), CAS10025-78-2.

제조사: PCC Rokita SA

PCC Rokita SA 폴란드와 중부 및 동부 유럽에서 가장 큰 화학 회사 중 하나입니다. 그 활동에는 클로로알칼리, 폴리에테르 폴리올, 폴리알킬렌 글리콜 및 인 유도체의 생산이 포함됩니다.

PCC 그룹

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