Trichlorure de silicium ultra pur (trichlorosilane ultra pur)

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Trichlorure de silicium ultra pur (trichlorosilane ultra pur)
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Trichlorure de silicium ultra pur (trichlorosilane ultra pur)
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Le trichlorure de silicium est un produit d'une pureté supérieure à 99,99 %. Les plus grandes quantités de trichlorure de silicium sous sa forme ultra-pure sont utilisées dans la production de polysilicium, ainsi que pour le dépôt chimique en phase vapeur de couches épitaxiales de silicium ou de carbure de silicium dans l'industrie des semi-conducteurs. ou en électronique.

Après purification à une qualité > 6N, le trichlorure de silicium est un précurseur du polysilicium pour les réseaux photovoltaïques ou les applications semi-conductrices . Le trichlorure de silicium est un excellent précurseur gazeux dans la production de couches de silicium. La voie dominante lors du dépôt est (a) la chimisorption de *SiCl2 sur la surface du silicium et la désorption du chlorure d'hydrogène de la surface du silicium : SiHCl3 → HCl + *SiCl2 et (b) la réduction de *SiCl2 par l'hydrogène : *SiCl2 + H2 → Si + 2HCl. Le trichlorure de silicium ultra-pur est également utilisé pour la production de couches épitaxiales de carbure de silicium.

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Propriétés et applications

Avantages produit :

  • un produit de très haute pureté pour l'industrie des générateurs photovoltaïques et des semi-conducteurs,
  • faible teneur en chlore libre.

Candidatures :

  • matière première pour la production de trichlorure de silicium ultra pur pour la production de polysilicium,
  • précurseur dans l'épitaxie du silicium, du carbure de silicium, du nitrure de silicium.
  • industrie électronique - semi-conducteurs,
  • industrie de l'énergie - photovoltaïque.
Les catégories
Noms alternatifs
Trichlorosilane, Trichlorosilane, Silicochloroforme, Hydrure de chlorure de silicium (SiHCl3), CAS10025-78-2.

Fabricant: PCC Rokita SA

PCC Rokita SA est l'une des plus grandes entreprises chimiques de Pologne ainsi que d'Europe centrale et orientale. Son activité comprend la production de chloroalcali, de polyéther polyols, de polyalkylène glycols et de dérivés du phosphore.

PCC Group

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