El tricloruro de silicio es un producto con una pureza superior al 99,99 %. Las mayores cantidades de tricloruro de silicio en su forma ultrapura se utilizan en la producción de polisilicio, así como para la deposición química de vapor de capas epitaxiales de silicio o carburo de silicio en la industria de los semiconductores. o en electrónica.
Después de la purificación a una calidad >6N, el tricloruro de silicio es un precursor del polisilicio para matrices fotovoltaicas o aplicaciones de semiconductores . El tricloruro de silicio es un excelente precursor gaseoso en la producción de capas de silicio. El camino dominante durante la deposición es (a) la quimisorción de *SiCl2 en la superficie de silicio y la desorción de cloruro de hidrógeno de la superficie de silicio: SiHCl3 → HCl + *SiCl2 y (b) la reducción de *SiCl2 por hidrógeno: *SiCl2 + H2 → Si + 2HCl. El tricloruro de silicio ultrapuro también se utiliza en la producción de capas epitaxiales de carburo de silicio.
Ventajas del producto:
Aplicaciones :
Mercados y aplicaciones
Materias primas e intermedios
Industria electrónica / Semiconductores
Industria de la energía / Fotovoltaica
Función
Precursor en la epitaxia de silicio y compuestos de silicio
Precursor de silicio gaseoso
Segmento
Clorosilanos, materias primas e intermedios
Productos especializados / Aditivos especiales