Hochreines Siliziumtrichlorid (Ultrapure trichlorosilane)

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Zertifikate

ISO 14001

ISO 50001

ISO 9001

ISO 45001

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Erhältlich auf Anfrage

Siliziumtrichlorid ist ein Produkt mit einer Reinheit von über 99,99%. Die größten Mengen an hochreinem Siliziumtrichlorid werden bei der Herstellung von Polysilizium sowie bei der chemischen Abscheidung von Epitaxieschichten von Silizium oder Siliziumkarbid aus der Gasphase in der Halbleiter- oder Elektronikindustrie verwendet.

Siliziumtrichlorid ist nach der Reinigung auf Qualität > 6N eine Vorstufe von Polysilizium für Photovoltaik- oder Halbleiteranwendungen. Siliziumtrichlorid ist eine ausgezeichnete gasförmige Vorstufe bei der Herstellung von Siliziumschichten. Der vorherrschende Weg während der Abscheidung ist (a) die Chemisorption von *SiCl2 auf der Siliziumoberfläche und die Desorption von Hydrochlorid von der Siliziumoberfläche: SiHCl3 → HCl + *SiCl2 und (b) die Reduktion von *SiCl2 unter Verwendung von Wasserstoff: *SiCl2 + H2 → Si + 2HCl. Hochreines Siliziumtrichlorid wird auch zur Herstellung von Epitaxialschichten aus Siliziumkarbid verwendet.

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Siliziumtrichlorid ist bei normaler Temperatur und normalem Druck eine Flüssigkeit mit einem Schmelzpunkt von -126,5 °C und einem Siedepunkt von 31,5 - 33 °C. Es hat eine höhere Dichte als Wasser (1,33 - 1,35 g/cm3) bei 20°C und eine mäßige Viskosität von 0,33 mPa.s (dynamisch) bei 20°C. Es ist hochflüchtig, Dampfdruck 72200 Pa bei 22,5°C. Die Substanz ist aufgrund eines Flammpunkts von <-19,5°C und eines Siedepunkts von 31,5 - 33°C als hochentzündlich eingestuft. Es wird durch Wasser in Salzsäure und Wasserstoff zerlegt. Die Reaktion ist sehr heftig. Das Produkt hat in Gegenwart von Feuchtigkeit eine korrosive Wirkung auf Metalle und Gewebe. Es ist mischbar mit Benzol, Chloroform, Tetrachlorkohlenstoff, Ether und Heptan. Bei normaler Temperatur und normalem Druck hat es die Form einer transparenten Flüssigkeit. VERPACKUNG und TRANSPORT: ISO-Tank, Bahntransport.

Eigenschaften und Anwendungen

Produktvorteile:

ein sehr hochreines Produkt für die Photovoltaik- und Halbleiterindustrie,
niedriger Gehalt an freiem Chlor.

Verwendungsbereiche:

Rohstoff für die Herstellung von hochreinem Siliziumtrichlorid für die Herstellung von Polysilizium
Vorstufe in der Epitaxie von Silizium, Siliziumkarbid, Siliziumnitrid,
Elektronikindustrie - Halbleiter,
Energiewirtschaft - Photovoltaik.

Kategorien

Märkte und Anwendungen
Rohstoffe und Halbprodukte
Elektronikindustrie / Halbleiter
Energiewirtschaft / Fotovoltaik

Zusammensetzung
Silizium
Chloride

Funktion
Vorläufer in der Epitaxie von Silizium und Siliziumverbindungen
Gasförmiger Siliziumvorläufer

Segment
Chlorsilane, Rohmaterialien und Zwischenprodukte
Spezialprodukte / Spezialadditive

Alternative Namen

Trichlorsilan, Siliziumchloridhydrid (SiHCl3), Trichlorsilan, Silicochloroform, CAS10025-78-2.

Hersteller: PCC Rokita SA

PCC Rokita SA ist eine der größten Chemiefirmen in Polen und Mittelosteuropa. Ihr Geschäftsbereich umfasst die Produktion von Chloralkalien, Polyetherpolyolen, Polyalkylenglykolen und Phosphorderivaten.

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Hochreines Siliziumtrichlorid (Ultrapure trichlorosilane)

Hersteller: PCC Rokita SA

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