Siliziumtrichlorid ist ein Produkt mit einer Reinheit von über 99,99%. Die größten Mengen an hochreinem Siliziumtrichlorid werden bei der Herstellung von Polysilizium sowie bei der chemischen Abscheidung von Epitaxieschichten von Silizium oder Siliziumkarbid aus der Gasphase in der Halbleiter- oder Elektronikindustrie verwendet.
Siliziumtrichlorid ist nach der Reinigung auf Qualität > 6N eine Vorstufe von Polysilizium für Photovoltaik- oder Halbleiteranwendungen. Siliziumtrichlorid ist eine ausgezeichnete gasförmige Vorstufe bei der Herstellung von Siliziumschichten. Der vorherrschende Weg während der Abscheidung ist (a) die Chemisorption von *SiCl2 auf der Siliziumoberfläche und die Desorption von Hydrochlorid von der Siliziumoberfläche: SiHCl3 → HCl + *SiCl2 und (b) die Reduktion von *SiCl2 unter Verwendung von Wasserstoff: *SiCl2 + H2 → Si + 2HCl. Hochreines Siliziumtrichlorid wird auch zur Herstellung von Epitaxialschichten aus Siliziumkarbid verwendet.
Produktvorteile:
Verwendungsbereiche:
Märkte und Anwendungen
Rohstoffe und Halbprodukte
Elektronikindustrie / Halbleiter
Energiewirtschaft / Fotovoltaik
Zusammensetzung
Silizium
Chloride
Funktion
Vorläufer in der Epitaxie von Silizium und Siliziumverbindungen
Gasförmiger Siliziumvorläufer
Segment
Chlorsilane, Rohmaterialien und Zwischenprodukte
Spezialprodukte / Spezialadditive