Hochreines Siliziumtrichlorid (Ultrapure trichlorosilane)

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Hochreines Siliziumtrichlorid  (Ultrapure trichlorosilane)
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Zertifikate
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Hochreines Siliziumtrichlorid (Ultrapure trichlorosilane)
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Siliziumtrichlorid ist ein Produkt mit einer Reinheit von über 99,99%. Die größten Mengen an hochreinem Siliziumtrichlorid werden bei der Herstellung von Polysilizium sowie bei der chemischen Abscheidung von Epitaxieschichten von Silizium oder Siliziumkarbid aus der Gasphase in der Halbleiter- oder Elektronikindustrie verwendet.

Siliziumtrichlorid ist nach der Reinigung auf Qualität > 6N eine Vorstufe von Polysilizium für Photovoltaik- oder Halbleiteranwendungen. Siliziumtrichlorid ist eine ausgezeichnete gasförmige Vorstufe bei der Herstellung von Siliziumschichten. Der vorherrschende Weg während der Abscheidung ist (a) die Chemisorption von *SiCl2 auf der Siliziumoberfläche und die Desorption von Hydrochlorid von der Siliziumoberfläche: SiHCl3 → HCl + *SiCl2 und (b) die Reduktion von *SiCl2 unter Verwendung von Wasserstoff: *SiCl2 + H2 → Si + 2HCl. Hochreines Siliziumtrichlorid wird auch zur Herstellung von Epitaxialschichten aus Siliziumkarbid verwendet.

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Eigenschaften und Anwendungen

Produktvorteile:  

  • ein sehr hochreines Produkt für die Photovoltaik- und Halbleiterindustrie, 
  • niedriger Gehalt an freiem Chlor.

 

Verwendungsbereiche:

  • Rohstoff für die Herstellung von hochreinem Siliziumtrichlorid für die Herstellung von Polysilizium
  • Vorstufe in der Epitaxie von Silizium, Siliziumkarbid, Siliziumnitrid,
  • Elektronikindustrie - Halbleiter,
  • Energiewirtschaft - Photovoltaik.
Kategorien
Alternative Namen
Trichlorsilan, Siliziumchloridhydrid (SiHCl3), Trichlorsilan, Silicochloroform, CAS10025-78-2.

Hersteller: PCC Rokita SA

PCC Rokita SA ist eine der größten Chemiefirmen in Polen und Mittelosteuropa. Ihr Geschäftsbereich umfasst die Produktion von Chloralkalien, Polyetherpolyolen, Polyalkylenglykolen und Phosphorderivaten.

PCC Gruppe

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