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Precursor de silicio gaseoso

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Precursor de silicio gaseoso

Un precursor de silicio gaseoso es un compuesto químico existente en forma gaseosa que contiene un átomo de Si. Como sugiere el nombre, la sustancia acompaña la etapa inicial de la reacción de producción de silicio. Un precursor conocido es el tricloruro de silicio, un componente en la producción de capas epitaxiales a partir de SiC.

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