Le trichlorure de silicium est un produit d'une pureté supérieure à 99,99 %. Les plus grandes quantités de trichlorure de silicium sous sa forme ultra-pure sont utilisées dans la production de polysilicium, ainsi que pour le dépôt chimique en phase vapeur de couches épitaxiales de silicium ou de carbure de silicium dans l'industrie des semi-conducteurs. ou en électronique.
Après purification à une qualité > 6N, le trichlorure de silicium est un précurseur du polysilicium pour les réseaux photovoltaïques ou les applications semi-conductrices . Le trichlorure de silicium est un excellent précurseur gazeux dans la production de couches de silicium. La voie dominante lors du dépôt est (a) la chimisorption de *SiCl2 sur la surface du silicium et la désorption du chlorure d'hydrogène de la surface du silicium : SiHCl3 → HCl + *SiCl2 et (b) la réduction de *SiCl2 par l'hydrogène : *SiCl2 + H2 → Si + 2HCl. Le trichlorure de silicium ultra-pur est également utilisé pour la production de couches épitaxiales de carbure de silicium.
Avantages produit :
Candidatures :
Marchés et applications
Matières premières et intermédiaires
Industrie électronique / Semi-conducteurs
Industrie électrique / Photovoltaïque
Une fonction
Précurseur dans l'épitaxie du silicium et des composés du silicium
Précurseur de silicium gazeux
Segment
Chlorosilanes, matières premières et intermédiaires
Produits spécialisés / Additifs spéciaux