Il tricloruro di silicio è un prodotto con una purezza superiore al 99,99%. Le maggiori quantità di tricloruro di silicio nella sua forma ultrapura sono utilizzate nella produzione di polisilicio, nonché per la deposizione chimica da vapore di strati epitassiali di silicio o carburo di silicio nell'industria dei semiconduttori o nell'elettronica.
Dopo la purificazione a una qualità >6N, il tricloruro di silicio è un precursore del polisilicio per array fotovoltaici o applicazioni di semiconduttori . Il tricloruro di silicio è un eccellente precursore gassoso nella produzione di strati di silicio. Il percorso dominante durante la deposizione è (a) il chemisorbimento di *SiCl2 sulla superficie del silicio e il desorbimento dell'acido cloridrico dalla superficie del silicio: SiHCl3 → HCl + *SiCl2 e (b) la riduzione di *SiCl2 da parte dell'idrogeno: *SiCl2 + H2 → Si + 2HCl. Il tricloruro di silicio ultrapuro viene utilizzato anche per la produzione di strati epitassiali di carburo di silicio.
Vantaggi del prodotto:
Applicazioni :
Mercati e applicazioni
Materie prime e intermedi
Industria elettronica / Semiconduttori
Industria energetica / Fotovoltaico
Funzione
Precursore nell'epitassia del silicio e dei composti di silicio
Precursore di silicio gassoso
Segmento
Clorosilani, materie prime e intermedi
Prodotti speciali / Additivi speciali