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Un precursore gassoso del silicio è un composto chimico esistente in forma gassosa che contiene un atomo di Si. Come suggerisce il nome, la sostanza accompagna la fase iniziale della reazione di produzione del silicio. Un precursore noto è il tricloruro di silicio, un componente nella produzione di strati epitassiali da SiC.
Questo processo prevede la deposizione di strati dell’elemento su substrati, con conseguente formazione di strutture a strati sottili con purezza e composizione chimica controllate. Viene utilizzato nei processi produttivi di semiconduttori, come matrici di silicio per circuiti integrati, LED o celle fotovoltaiche.
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