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Precursore di silicio gassoso

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Precursore gassoso del silicio

Un precursore gassoso del silicio è un composto chimico esistente in forma gassosa che contiene un atomo di Si. Come suggerisce il nome, la sostanza accompagna la fase iniziale della reazione di produzione del silicio. Un precursore noto è il tricloruro di silicio, un componente nella produzione di strati epitassiali da SiC.

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