삼염화규소는 순도가 99.99% 이상인 제품입니다. 초순수 형태의 삼염화규소는 폴리실리콘 생산뿐만 아니라 반도체 산업에서 실리콘 또는 탄화규소의 에피택시층 화학 기상 증착에 사용됩니다. 또는 전자 제품에서.
>6N 품질로 정제한 후 삼염화규소 는 광전지 어레이 또는 반도체 응용 분야용 폴리실리콘의 전구체 입니다. 삼염화규소는 실리콘 층 생산에서 우수한 기체 전구체입니다. 증착 동안 지배적인 경로는 (a) 실리콘 표면에 *SiCl2의 화학 흡착과 실리콘 표면에서 염화수소의 탈착: SiHCl3 → HCl + *SiCl2 및 (b) 수소에 의한 *SiCl2의 환원: *SiCl2 + H2 → Si + 2HCl. 초순수 삼염화규소는 탄화규소 에피택셜 층의 생산에도 사용됩니다.
정상적인 온도와 압력에서 삼염화규소는 녹는점이 -126.5°C이고 끓는점이 31.5-33°C인 액체입니다. 밀도는 20°C에서 물의 밀도(1.33-1.35g/cm3)보다 크고 20°C에서 0.33mPa.s의 중간(동적) 점도를 가집니다. 22.5°C에서 증기압이 72,200 Pa인 매우 휘발성입니다.
이 물질은 인화점(<-19.5°C)과 끓는점(31.5-33°C)을 기준으로 극인화성 물질로 분류됩니다. 물에 의해 염산과 수소로 분해된다. 이 반응은 매우 격렬하게 발생합니다 . 습한 환경에서 제품은 금속과 조직을 부식시킵니다. 벤젠, 클로로포름, 사염화탄소, 에테르 및 헵탄과 섞일 수 있습니다. 표준 온도와 압력에서 투명한 액체 형태입니다.
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