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기체 실리콘 전구체는 Si 원자를 포함하는 기체 형태로 존재하는 화합물입니다. 이름에서 알 수 있듯이 이 물질은 실리콘 생산 반응의 초기 단계를 수반합니다. 알려진 전구체 중 하나는 SiC에서 에피택셜 층을 생산하는 데 사용되는 구성 요소인 삼염화규소입니다.
이 공정에는 기판에 요소 층을 증착하여 순도와 화학적 조성이 제어된 얇은 층 구조를 형성하는 과정이 포함됩니다. 이는 집적 회로용 실리콘 다이, LED 또는 광전지와 같은 반도체 생산 공정에 사용됩니다.
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