Pendahulu silikon gas

triklorida silikon teknikal (triklorosilane teknikal) Silikon triklorida teknikal ialah produk dengan ketulenan lebih 97%.Ia digunakan sebagai bahan mentah / perantaraan dalam penghasilan silanes organofungsi dan bahan...

Triklorida silikon ultratulen (Ultrapure trichlorosilane) Silikon triklorida ialah produk dengan ketulenan lebih 99.99%.Jumlah terbesar silikon triklorida dalam bentuk ultratulennya digunakan dalam pengeluaran polisilikon,...

Komposisi

silikon, Klorida

CAS No.

10025-78-2

1 - 2 daripada 2 produk

Prekursor silikon gas ialah sebatian kimia yang wujud dalam bentuk gas yang mengandungi atom Si. Seperti namanya, bahan tersebut mengiringi peringkat awal tindak balas pengeluaran silikon. Satu prekursor yang diketahui ialah silikon triklorida, komponen dalam penghasilan lapisan epitaxial daripada SiC.

Proses ini melibatkan pemendapan lapisan unsur pada substrat, mengakibatkan pembentukan struktur berlapis nipis dengan ketulenan terkawal dan komposisi kimia. Ia digunakan dalam proses pengeluaran semikonduktor, seperti mati silikon untuk litar bersepadu, LED atau sel fotovoltaik.