Prekursor dalam epitaksi sebatian silikon dan silikon

triklorida silikon teknikal (triklorosilane teknikal) Silikon triklorida teknikal ialah produk dengan ketulenan lebih 97%.Ia digunakan sebagai bahan mentah / perantaraan dalam penghasilan silanes organofungsi dan bahan...

Triklorida silikon ultratulen (Ultrapure trichlorosilane) Silikon triklorida ialah produk dengan ketulenan lebih 99.99%.Jumlah terbesar silikon triklorida dalam bentuk ultratulennya digunakan dalam pengeluaran polisilikon,...

Komposisi

silikon, Klorida

CAS No.

10025-78-2

1 - 2 daripada 2 produk

Prekursor dalam epitaksi sebatian silikon dan silikon

Prekursor dalam epitaksi silikon dan sebatian silikon ialah bahan kimia yang digunakan dalam proses yang dipanggil epitaksi untuk mendepositkan lapisan silikon pada substrat.

Epitaksi ialah teknik yang melibatkan pertumbuhan lapisan nipis silikon pada substrat silikon monohabluran. Kaedah ini adalah penting untuk pengeluaran semikonduktor, khususnya dalam industri mikroelektronik, di mana ia adalah penting untuk pengeluaran litar bersepadu.

Kaedah epitaksi yang paling biasa digunakan ialah pemendapan wap kimia menggunakan sebatian metalorganik (MOCVD, MOVPE). Komponen gas diperkenalkan di bawah keadaan terkawal reaktor, menyebabkan pembentukan lapisan yang dikehendaki akibat tindak balas. Contoh prekursor dalam proses ini ialah silikon triklorida.