Gazowy prekursor krzemu

Trichlorek krzemu techniczny (Technical trichlorosilane) Trichlorek krzemu techniczny to produkt o czystości powyżej 97%. Stosowany jest jako surowiec/półprodukt w produkcji organofunkcjonalnych silanów i innych substancji...

Trichlorek krzemu ultraczysty (Ultrapure trichlorosilane) Trichlorek krzemu to produkt o czystości powyżej 99,99%. Największe ilości trichlorku krzemu w postaci ultraczystej znajdują zastosowanie w produkcji polikrzemu,...

Budowa

Krzem, Chlorki

Numer CAS

10025-78-2

1 - 2 z 2 produktów

Gazowym prekursorem krzemu nazywamy występujący w formie gazowej związek chemiczny, który zawiera atom Si. Jak sama nazwa wskazuje – substancja towarzyszy pierwotnemu stadium reakcji otrzymywania krzemu. Jednym ze znanych prekursorów jest trichlorek krzemu – stanowi on składnik w wytwarzaniu warstw epitaksjalnych z SiC.

Proces ten polega na osadzaniu warstw pierwiastka na podłożach, dzięki czemu powstają cienkowarstwowe struktury o kontrolowanej czystości i składzie chemicznym. Wykorzystuje się go w procesach produkcji półprzewodników, takich jak krzemowe matryce do układów scalonych, diod LED czy ogniw fotowoltaicznych.