Prekursor w epitaksji krzemu i związków krzemu

Trichlorek krzemu techniczny (Technical trichlorosilane) Trichlorek krzemu techniczny to produkt o czystości powyżej 97%. Stosowany jest jako surowiec/półprodukt w produkcji organofunkcjonalnych silanów i innych substancji...

Trichlorek krzemu ultraczysty (Ultrapure trichlorosilane) Trichlorek krzemu to produkt o czystości powyżej 99,99%. Największe ilości trichlorku krzemu w postaci ultraczystej znajdują zastosowanie w produkcji polikrzemu,...

Budowa

Krzem, Chlorki

Numer CAS

10025-78-2

1 - 2 z 2 produktów

Prekursor w epitaksji krzemu i związków krzemu

Prekursor w epitaksji krzemu i związków krzemu to substancja chemiczna używana w procesie zwanym epitaksją w celu deponowania warstw krzemu na podłożach.

Epitaksja jest techniką polegającą na wzroście cienkich warstw krzemu na monokrystalicznym podłożu krzemowym. Metoda ma integralne znaczenie w produkcji półprzewodników, w szczególności w przemyśle mikroelektronicznym, w którym są one niezbędne do produkcji układów scalonych.

Najczęściej stosowaną metodą epitaksji jest chemiczne osadzanie z fazy gazowej z użyciem związków metaloorganicznych (MOCVD, MOVPE). W kontrolowanych warunkach reaktora wprowadza się gazowe komponenty, które w wyniku reakcji powodują powstawanie pożądanych warstw. Przykładem prekursora w wymienionym procesie jest trichlorek krzemu.