O tricloreto de silício é um produto com pureza superior a 99,99%. As maiores quantidades de tricloreto de silício em sua forma ultrapura são usadas na produção de polissilício, bem como para deposição química de vapor de camadas epitaxiais de silício ou carboneto de silício na indústria de semicondutores ou em eletrônica.
Após purificação para qualidade >6N, o tricloreto de silício é um precursor do polissilício para matrizes fotovoltaicas ou aplicações de semicondutores . O tricloreto de silício é um excelente precursor gasoso na produção de camadas de silício. O caminho dominante durante a deposição é (a) a quimissorção de *SiCl2 na superfície do silício e a dessorção do cloreto de hidrogênio da superfície do silício: SiHCl3 → HCl + *SiCl2 e (b) a redução de *SiCl2 pelo hidrogênio: *SiCl2 + H2 → Si + 2HCl. O tricloreto de silício ultrapuro também é usado na produção de camadas epitaxiais de carboneto de silício.
Vantagens do produto:
Aplicações :
Mercados e aplicações
Matérias-primas e intermediários
indústria eletrônica / Semicondutores
Indústria de energia / Fotovoltaica
Função
Precursor na epitaxia de silício e compostos de silício
Precursor de silício gasoso
Segmento
Clorossilanos, matérias-primas e intermediários
Produtos Especiais / Aditivos especiais