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Precursor de silício gasoso

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Precursor de silício gasoso

Um precursor gasoso de silício é um composto químico existente na forma gasosa que contém um átomo de Si. Como o nome sugere, a substância acompanha a etapa inicial da reação de produção do silício. Um precursor conhecido é o tricloreto de silício, um componente na produção de camadas epitaxiais de SiC.

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