Prekurzor v epitaxii kremíka a zlúčenín kremíka

Technický chlorid kremičitý (technický trichlórsilán) Technický chlorid kremičitý je produkt s čistotou nad 97%.Používa sa ako surovina/medziprodukt pri výrobe organofunkčných silánov a iných látok na báze kremíka.Organofunkčné...

Ultračistý chlorid kremičitý (ultračistý trichlórsilán) Chlorid kremičitý je produkt s čistotou nad 99,99 %. Najväčšie množstvá chloridu kremičitého v ultračistej forme sa používajú pri výrobe polysilikónu, ako aj na...

Zloženie

Silikón, Chloridy

CAS č.

10025-78-2

1 – 2 z 2 produktov

Prekurzor v epitaxii kremíka a zlúčenín kremíka

Prekurzor v epitaxii kremíka a zlúčenín kremíka je chemikália používaná v procese nazývanom epitaxia na ukladanie vrstiev kremíka na substráty.

Epitaxia je technika zahŕňajúca rast tenkých vrstiev kremíka na substráte z monokryštalického kremíka. Táto metóda je neoddeliteľnou súčasťou výroby polovodičov, najmä v mikroelektronickom priemysle, kde sú nevyhnutné na výrobu integrovaných obvodov.

Najčastejšie používanou metódou epitaxie je chemická depozícia z plynnej fázy pomocou metalorganických zlúčenín (MOCVD, MOVPE). Plynné zložky sa zavádzajú za kontrolovaných podmienok reaktora, čo spôsobuje tvorbu požadovaných vrstiev ako výsledok reakcie. Príkladom prekurzora v tomto procese je chlorid kremičitý.