Kiseltriklorid är en produkt med en renhet på över 99,99%. De största mängderna kiseltriklorid i sin ultrarena form används vid tillverkning av polykisel, samt för kemisk ångavsättning av epitaxiella skikt av kisel eller kiselkarbid i halvledarindustrin eller inom elektronik.
Efter rening till >6N kvalitet är kiseltriklorid en föregångare till polykisel för fotovoltaiska arrayer eller halvledarapplikationer. Kiseltriklorid är en utmärkt gasformig prekursor vid framställning av kiselskikt. Den dominerande vägen under deponering är (a) kemisorptionen av *SiCl2 på kiselytan och desorptionen av väteklorid från kiselytan: SiHCl3 → HCl + *SiCl2 och (b) reduktionen av *SiCl2 med väte: *SiCl2 + H2 → Si + 2HCl. Ultraren kiseltriklorid används också vid produktion av epitaxiella skikt av kiselkarbid.
Produktfördelar:
Applikationer :
Marknader och applikationer
Råvaror och mellanprodukter
Elektronisk industri / Halvledare
Kraftindustrin / Solceller
Fungera
Prekursor i epitaxi av kisel och kiselföreningar
Gasformig kiselprekursor
Segmentet
Klorosilaner, råvaror och intermediärer
Specialprodukter / Specialtillsatser