Silikon ve silikon bileşiklerinin epitaksisinde öncü

Teknik silikon triklorür (Teknik triklorosilan) Teknik silikon triklorür saflığı %97'nin üzerinde olan bir üründür. Organofonksiyonel silanlar ve diğer silikon bazlı maddelerin üretiminde hammadde/ara madde...

Ultra saf silikon triklorür (Ultra saf triklorosilan) Silisyum triklorür , %99,99'un üzerinde saflığa sahip bir üründür. Ultra saf formundaki en büyük silikon triklorür miktarları, polisilikon üretiminde ve ayrıca...

Kompozisyon

Silikon, klorürler

CAS Numarası.

10025-78-2

1 - 2 ürününden 2

Silikon ve silikon bileşiklerinin epitaksisindeki öncü

Silikon ve silikon bileşiklerinin epitaksisindeki bir öncü, alt katmanlar üzerine silikon katmanlarını biriktirmek için epitaksi adı verilen bir işlemde kullanılan bir kimyasaldır.

Epitaksi, monokristalin bir silikon substrat üzerinde ince silikon katmanlarının büyümesini içeren bir tekniktir. Bu yöntem, özellikle entegre devrelerin üretimi için gerekli olan mikroelektronik endüstrisinde yarı iletkenlerin üretiminin ayrılmaz bir parçasıdır.

En yaygın kullanılan epitaksi yöntemi, metalorganik bileşikler (MOCVD, MOVPE) kullanılarak kimyasal buhar biriktirme yöntemidir. Gaz halindeki bileşenler kontrollü koşullar altında bir reaktöre dahil edilerek reaksiyon sonucunda istenilen katmanların oluşması sağlanır. Bu işlemdeki öncüllerin bir örneği silikon triklorürdür.